Интересное решение по засветке фоторезиста

Большинство из нас, использующих фоторезист, засвечивает его как Бог на душу положит, в основном просто лампой. При нормах до 0,25/0,25 особого влияния это не оказывает, а вот если нужно тоньше, особенно это касается зазоров, то тут уже начинает вырисовываться проблема подсвета под шаблон. Довольно давно я нашел интересный файлик, в котором Минин С.А., как написано в файле, проводит довольно серьезное исследование этого вопроса. Предлагаю сообществу с этим исследованием ознакомиться.

Читать дальше